彩屏生产流程总结

2019-03-11 19:03:00
彩屏生产前准备工作 一、 蒸镀前清洗清洁。 1、 每次彩屏生产前利用前次降温时间由蒸镀人员对蒸镀前清洗 机清洗槽、 滚轮及TANK使用无尘布擦拭、 纯水冲洗并更换纯水。 (清洁标准:使用干净的无尘布擦拭清洁部位无颜色变化)。 二、 TM腔室、BF、UB、LB清洁。 1、 TM腔室清洁频率为1月/次, 利用前次降温或换内衬时间由工程 部人员清洁; 2、 BF、 UB、 LB腔室每次彩屏生产前利用前次降温时间由蒸镀人员 进行清洁,清洁完成后由工程部人员检查确认。 (清洁标准:使用干净的无尘布擦拭清洁部位无颜色变化)。 1、 有机腔室、MS腔室、装卸推车、机械手清洁。有机腔室重点为 glass/MASK hold/蒸发源以及铝板进行清洁; 2、 MS腔室每更换型号都需进行检查清洁; 装卸推车每日清洁; 机 械手利用前次降温及中途有异常暂停时间都必须进行清洁。 (清洁标准:使用干净的无尘布擦拭清洁部位无颜色变化)。 三、 MASK清洗及药液更换。 1、 2、 所有彩屏MASK,生产前都先过纯水洗后再进行其他药液清洗; 除第一槽NMP按照清洗150块MASK才更换新药液外, 其它槽药液 在彩屏SM MASK清洗前都更换为新药液。 3、 SM MASK在快使用时才提前从丙酮中提出,晾干后由工程人员 检查清洁度,检查OK后才投入使用。(如果MASK清洗时间充足, SM MASK清洗至丙酮后可先晾出检查,如异物较多使用吹气球无法 清除则进行第二次清洗,如检查OK则继续浸泡在丙酮药液中,待 快生产时再提出); 4、 Cycle Test MASK清洁频率为1月/次,清洁方法:纯水→IPA →丙酮. 四、 五、 贴合实验。 使用干净的废基板从前清洗进行投片,投6片。OC#4、 OC#5、OC#6各2片,每片进行对位贴合10次后手动传出。
电话咨询
邮件咨询
在线地图
QQ客服